РУАЭСТ (RUAEST)
Статьи автора: Болдыревский П.Б.
Результатов найдено: 1
|
АНАЛИЗ НЕРАВНОМЕРНОСТИ ТОЛЩИНЫ ЭПИТАКСИАЛЬНОГО СЛОЯ КРЕМНИЯ ПРИ ОСАЖДЕНИИ ИЗ СУБЛИМАЦИОННЫХ ИСТОЧНИКОВ В ВАКУУМЕБолдыревский П.Б.,Денисов С.А.,Коровин А.Г.,Светлов С.П.,Шенгуров В.Г.
|