РУАЭСТ (RUAEST)
Статьи автора: Коровин А.Г.
Результатов найдено: 1
|
АНАЛИЗ НЕРАВНОМЕРНОСТИ ТОЛЩИНЫ ЭПИТАКСИАЛЬНОГО СЛОЯ КРЕМНИЯ ПРИ ОСАЖДЕНИИ ИЗ СУБЛИМАЦИОННЫХ ИСТОЧНИКОВ В ВАКУУМЕКоровин А.Г.,Денисов С.А.,Болдыревский П.Б.,Светлов С.П.,Шенгуров В.Г.
|