РУАЭСТ (RUAEST)
Статьи автора: Шенгуров В.Г.
Результатов найдено: 1
|
АНАЛИЗ НЕРАВНОМЕРНОСТИ ТОЛЩИНЫ ЭПИТАКСИАЛЬНОГО СЛОЯ КРЕМНИЯ ПРИ ОСАЖДЕНИИ ИЗ СУБЛИМАЦИОННЫХ ИСТОЧНИКОВ В ВАКУУМЕШенгуров В.Г.,Денисов С.А.,Болдыревский П.Б.,Коровин А.Г.,Светлов С.П.
|