Сформулированы некоторые фундаментальные проблемы математического моделирования процессов получения покрытий вакуумным ионно-плазменным методом. Введено понятие активной поверхностной зоны для описания процессов нетермической активации. Показано, что процессы нетермической активации на поверхности могут быть объяснены на основе эффекта поверхностных фокусонов. На основе представлений теории вероятности описаны основные стадии эволюции превращения адсорбированных частиц. Уточнены некоторые достаточно общие теоретические соотношения, применяемые в теории формирования новой фазы на поверхности твердого тела.