Создание в структуре плазменных покрытий упорядоченных кластеров способствует повышению эксплуатационных свойств покрытий, особенно связанных с механической и термической выносливостью и износостойкостью. Экспериментально доказано, что такая структура способствует локализации микротрещин и препятствует их дальнейшему распространению. Установлены параметры процесса, влияющие на формирование структурной упорядоченности кластеров, проведено математическое моделирование.