ТЕПЛО- И МАССОПЕРЕНОС В ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ ПРОЦЕССЕ ГРАДИЕНТНОЙ ЖИДКОФАЗНОЙ ЭПИТАКСИИ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ЛИНЕЙНЫХ ЗОН

Построена двумерная модель перекристаллизации твердой фазы ансамблем жидких линейных зон. Модель основана на уравнениях теплопроводности, описывающих распределение теплового поля в кристалле и жидком включении, и уравнении массопереноса, описывающего непрерывный диффузионный поток вещества жидкого включения, смешанного с веществом кристалла. Приведены результаты моделирования движения ансамбля линейных зон. Обсуждается их экспериментальная проверка. Соответствие некоторых особенностей реального процесса, в частности, слияние линейных зон на финише их перемещения, говорит об адекватности построенной модели. Указанные особенности интерпретированы как следствие траекторной нестабильности зон. Геометрия зоны и температурный режим химико-технологического процесса выступают факторами, определяющими структуру растущих слоев

• Благин А.В.
• Благина Л.В.
• Малибашев А.В.
• Нефедова Н.А.

• Прикладные науки. Медицина. Технология

• Технические науки. Промышленность