ПОЛУЧЕНИЕ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ ПЛЕНОК ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СОЕДИНЕНИЙ НА ПОРИСТЫХ ПОДЛОЖКАХ (ОБЗОР)

Приведены результаты экспериментальных исследований ряда отечественных и зарубежных авторов в области применения пористых подложек для эпитаксиального наращивания гетероструктур приборного качества. Дана справка по методам и условиям получения пористых слоев соединений AIIIBV, SiC и Si

• Гусев А.
• Каргин Н.И.
• Рындя С.М.
• Сафаралиев Г.К.
• Султанов А.О.

• Прикладные науки. Медицина. Технология

• Технические науки. Промышленность