Влияние состава смеси хлор-водород на интенсивности излучения и концентрации активных частиц в плазме

плазмы смесей хлор-водород активные частицы плазмы травление материалов моделирование плазмы

Взаимодействие эфира ацетоуксусной кислоты с акрил-а-метилакриламидами в присутствии четвертичных амониевых солей, Изучение 3-амино-1-гидроксипропан-1, 1-дифосфоновой кислоты и ее мононатриевой соли, ...

А.М. Ефремов, А.И. Изгородин, В.С. Оченков, В.И. Светцов ВЛИЯНИЕ СОСТАВА СМЕСИ ХЛОР-ВОДОРОД НА ИНТЕНСИВНОСТИ ИЗЛУЧЕНИЯ И КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В ПЛАЗМЕ (Ивановский государственный химико-технологический университет) E-mail: efremov@isuct.ru Проведено исследование влияния начального состава смеси Cl2/H2 на интенсивноn ), при этом приведенные интенсивсти излучения и концентрации активных частиц плазмы. <...> Показано, что варьирование состава смеси приводит к изменению условий возбуждения частиц (константы скорости возбуждения exk , концентрации электронов e ности I Неравновесная низкотемпературная газоразрядная плазма бинарных смесей хлора с инертными и молекулярными газами применяется при проведении процессов «сухого» травления и очистки поверхности полупроводниковых пластин и функциональных слоев интегральных микросхем. <...> Таким образом, начальный состав смеси представляет собой эффективный механизм регулирования конечного результата обработки. <...> Поэтому целью данной работы являлось исследование кинетики и состава активных частиц в плазме смесей хлор - водород методом эмиссионной спектроскопии. <...> Для получения хлора применялся метод термического разло34 I k nex e адекватно отражают характер изменения концентраций соответвующих частиц. <...> Исследована возможность контроля относительных изменений концентраций частиц по отношениям интенсивностей излучения. жения соли CuCl2 в вакууме. <...> Температура нейтральных частиц (T ) измерялась методом двух термопар либо рассчитывалась при решении уравнения теплового баланса реактора. <...> Расчеты концентрации атомов хлора в плазме ( Cl уравнению материального баланса молекул Cl2. <...> Алгоритм моделирования плазмы включал в себя совместное решение следующих уравнений: 1) стационарное кинетическое уравнение Больцмана в двучленном приближении; 2) уравнения химической кинетики образования и гибели нейтральных и заряженных частиц в квазистационарном приближении; 3) уравнение <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт