СТРУННЫЙ АВТОГЕНЕРАТОРНЫЙ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ НА ОСНОВЕ ПЬЕЗОСТРУКТУРЫ

Представлен анализ микроэлектромеханической автоколебательной системы на основе струнного чувствительного элемента с применением монокристаллического кремния и структур из пьезокерамических пленок. Обосновано применение монокристаллического кремния в качестве материала для изготовления материала струны. Приведены результаты моделирования автоколебательной системы и описаны некоторые из ее особенностей

• Кучумов Е.В.
• Волков В.С.
• Баринов И.Н.

• Прикладные науки. Медицина. Технология

• Социальные (общественные) науки
• Технические науки. Промышленность
• Физико-математические науки