РУсскоязычный Архив Электронных СТатей периодических изданий
Измерение. Мониторинг. Управление. Контроль/2014/№ 2/

СТРУННЫЙ АВТОГЕНЕРАТОРНЫЙ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ НА ОСНОВЕ ПЬЕЗОСТРУКТУРЫ

Представлен анализ микроэлектромеханической автоколебательной системы на основе струнного чувствительного элемента с применением монокристаллического кремния и структур из пьезокерамических пленок. Обосновано применение монокристаллического кремния в качестве материала для изготовления материала струны. Приведены результаты моделирования автоколебательной системы и описаны некоторые из ее особенностей

Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности

Похожие документы: