Сухое травление алюминия в хлоре

кинетика травления газовое травление плазменное травление травление в хлоре травление алюминия алюминий

Коксообразование на высококремнеземном цеолитном катализаторе при превращении пропилена, Водо- и органорастворимые комплексы тетра (этилендисульфанил) порфиразина, ...

Роль продуктов уплотнения в процессе олигомеризации пропилена на цеолитном катализаторе. <...> С.А. Пивоваренок, А.В. Дунаев, А.М. Ефремов, В.И. Светцов СУХОЕ ТРАВЛЕНИЕ АЛЮМИНИЯ В ХЛОРЕ (Ивановский государственный химико-технологический университет) E-mail: efremov@isuct.ru Проведено исследование кинетики и механизмов газового (без разряда) и плазменного травления алюминия в хлоре. <...> Показано, что в диапазоне температур 393 – 543 К реализуются два режима травления, различающихся характером температурной зависимости скорости и кинетических кривых и обусловленные изменением типа доминирующего продукта реакции. <...> Установлено, что наблюдаемая кинетика травления как в газовом, так и в плазменном процессах отражает взаимодействие атомов и молекул хлора с Al2O3. <...> ВВЕДЕНИЕ Интенсивное развитие технологии микроэлектроники и переход к производству ИМС с субмикронными размерами элементов обуславливают необходимость оптимизации многих технологических процессов, в том числе и процессов размерного травления. <...> Исторически первым для травления Al был разработан жидкостной процесс с использованием смеси кислот HNO3 и H3PO4, обеспечивающий высокие скорости, но низкую анизотропию, разрешение и воспроизводимость травления [1]. <...> 11 17 живание ненасыщенных продуктов плазмохимических реакций на внутренней поверхности реактора и обрабатываемого материала [2, 3]. <...> От этих недостатков свободен молекулярный хлор, поэтому его применение для травления Al является весьма перспективным. <...> Целью данной работы являлось исследование кинетики и механизмов травления Al в хлоре. <...> МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТОВ Для экспериментального исследования кинетики травления Al в условиях тлеющего разряда постоянного тока использовался цилиндрический проточный плазмохимический реактор (внутренний радиус r =1.7 см, длина зоны разряда l = 40 см), изготовленный из стекла С-49. <...> Определение скоростей травления ( E s R ) осуществляли гравиметрически, по изменению массы образца до и после обработки <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт