Кинетика и механизмы плазмохимического травления алюминия в хлоре

травление алюминия плазмохимическое травление хлор кинетика плазменного травления микроэлектроника размерное травление молекулярный хлор травление в хлоре

Компьютерное моделирование ИК спектров различных форм дипразина, Фотохромизм 2- (2, 4-динитробензил) - и 2- (2, 4-динитронафтил-1-метил) -бензазолов, ...

С. А. Пивоваренок, А. В. Дунаев, А. М. Ефремов, В. И. Светцов КИНЕТИКА И МЕХАНИЗМЫ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ АЛЮМИНИЯ В ХЛОРЕ (Ивановский государственный химико-технологический университет) E-mail: efremov@isuct.ru Проведено исследование кинетики плазменного травления алюминия в хлоре. <...> Получены данные по стационарному составу плазмы и потокам активных частиц на поверхность. <...> Показано, что процесс травления протекает в кинетическом режиме и имеет первый кинетический порядок по концентрации активных частиц. <...> В диапазоне температур 393–543 К реализуются два режима травления, обусловленные изменением типа доминирующего продукта реакции. <...> ВВЕДЕНИЕ Интенсивное развитие технологии микроэлектроники и переход к производству ИМС с субмикронными размерами элементов обусловливают необходимость оптимизации процессов размерного травления. <...> Исторически первым для травления Al был разработан жидкостной процесс на основе смеси HNO3 и H3PO4, обеспечивающий высокие скорости, но низкую анизотропию, разрешение и воспроизводимость травления [1]. <...> После перехода к «сухим» (вакуумно-плазменным) технологиям в качестве плазмообразующих сред для травления Al традиционно использовались CCl4, BCl3 и SiCl4, приводящие к полимеризации и/или высаживанию продуктов плазмохимических реакций на внутренней поверхности реактора и обрабатываемого материала [2, 3]. <...> От этих недостатков свободен молекулярный хлор, поэтому его применение для травления Al является весьма перспективным. <...> Целью работы являлось исследование кинетики и механизмов травления Al в хлоре. <...> Решение этой задачи требует одновременного исследования брутто характеристик гетерогенного взаимодействия и стационарного состава плазмы, определяющего потоки активных частиц на поверхность. <...> МЕТОДИКИ ЭКСПЕРИМЕНТОВ И РАСЧЕТОВ Для исследования кинетики травления Al в условиях тлеющего разряда постоянного тока использовался цилиндрический проточный реактор (внутренний радиус r = 1.7 <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт