Исследование воздействия растворов серной кислоты после электролиза на поверхность кремния

электрохимическая обработка растворы серной кислоты серные кислоты кремневые полупроводники кремневые пластины очистка кремния УФ-спектроскопия

Получение этилена с низким содержанием ацетилена из пирогаза плазмохимическим методом, Трехкомпонентная взаимная система Li, Са // F, СО[4], ...

Е.Е. Виссер, Е.Б. Чернов*, Ю.А. Карбаинов, М.С. Барсукова ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ РАСТВОРОВ СЕРНОЙ КИСЛОТЫ ПОСЛЕ ЭЛЕКТРОЛИЗА НА ПОВЕРХНОСТЬ КРЕМНИЯ (Томский политехнический университет, <...> *Сургутский государственный университет) Методами УФ-спектроскопии, вольтамперометрии и химического анализа в электрохимически обработанных растворах серной кислоты обнаружен «активный кислород», который образуется в результате распада пероксосерных кислот, обладающих высокой окислительной способностью к микропримесям, находящимся на поверхности полупроводникового кремния. <...> Проведено математическое моделирование процесса образования и расходования кислорода в процессе обработки поверхности кремния растворами серной кислоты после электролиза. <...> Одним из возможных методов очистки поверхности полупроводниковых пластин кремния, используемых в микроэлектронике, является их обработка в растворах серной кислоты, предварительно подвергнутых электролизу [1]. <...> Наличие пероксосоединений и свободного кислорода в растворах серной кислоты после электролиза позволяет обеспечить окисление соответствующих примесей на поверхности полупроводникового кремния. <...> . Необходимо отметить, что механизм этого процесса является сложным, недостаточно изученным и зависит от количества и природы примесей восстановителей [2, 3]. <...> Выяснение механизма позволит с одной стороны управлять процессом очистки поверхности полупроводникового кремния (возможно, и других твердых тел), с другой стороны позволит использовать этот процесс и для других целей (например, для растворения труднорастворимых соединений, обладающих восстановительными свойствами). <...> Целью работы является изучение взаимодействия «активного кислорода» в электрохимически обработанных растворах серной кислоты с примесями, обладающими восстановительными свойствами, на поверхности полупроводникового кремния. <...> 52 ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ Электролиз растворов <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт