Химическое и электрохимическое полирование меди - сходства и различия. II. Влияние поверхностных слоев
Изучены физико-химические свойства поверхностных слоев, образующихся при электрическом и химическом полировании меди в растворах на основе ортофосфорной кислоты.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
Таблица Кинетические параметры процесса очистки поверхности полупроводникового кремния Table. <...> УДК 621.79.025.3 М.Г. Донцов, А.В. Балмасов, Н.В. Семенова ХИМИЧЕСКОЕ И ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ПОЛИРОВАНИЕ МЕДИ – СХОДСТВА И РАЗЛИЧИЯ. <...> ВЛИЯНИЕ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ (Ивановский государственный химико-технологический университет) E-mail: ket712@isuct.ru Изучены физико-химические свойства поверхностных слоев, образующихся при электрохимическом и химическом полировании меди в растворах на основе ортофосфорной кислоты. <...> Показано, что наряду с замедленным массопереносом в растворе существенное влияние на достижение эффекта полирования оказывают свойства поверхностных фазовых слоев. <...> При электрохимическом и химическом полировании металлов на поверхности образуются оксидные и оксидно-солевые пленки [1-3]. <...> Фор54 мирование на металле этих пленок приводит к усилению торможения массопереноса через поверхностный слой, что способствует блескообразоХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ 2008 том 51 вып. <...> 12 ванию и сглаживанию субмикронеровностей при
электрохимическом и химическом полировании. <...> На пленках, обладающих электронной проводимостью,
при определенных потенциалах возможно
выделение кислорода. <...> В случае ионной проводимости
образующаяся пассивная пленка находится
в динамическом равновесии с раствором и
металлом – на границе металл-пленка происходит
образование оксидов, а на границе пленка-раствор
– их растворение [5]. <...> Следовательно, при анодной поляризации
металлического электрода возможно образование
на его поверхности оксидного слоя, позволяющего
металлу растворяться с заметной скоростью. <...> Благодаря оксидному слою
растворение приобретает более равномерный характер. <...> При
электрохимическом полировании меди
в ортофосфорной кислоте на поверхности формируется
полупроводниковая пленка с дырочной
проводимостью [6]. <...> В отличие от электрохимической обработки
поверхности, химическое полирование меди в
растворах на основе ортофосфорной <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: