ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ МИКРООПТИЧЕСКИХ И ДИФРАКЦИОННЫХ ЭЛЕМЕНТОВ С ПОМОЩЬЮ ТЕХНОЛОГИИ КОРРЕЛЯЦИОННОЙ МИКРОСКОПИИ SHUTTLE AND FIND

сканирующая электронная микроскопия оптическая микроскопия корреляционная микроскопия микролинзовый растр.

ПРИМЕНЕНИЕ КВАНТОВО-КИНЕТИЧЕСКОЙ МОДЕЛИ АКТИВНОЙ СРЕДЫ ПРИ РАСЧЕТАХ ОПТИЧЕСКИХ РЕЗОНАТОРОВ СО2-ЛАЗЕРОВ МЕТОДОМ ИНТЕГРАЛЬНЫХ УРАВНЕНИЙ, ОЦЕНКА ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТИ УЛЬТРАСТРУЙНОГО СУСПЕНЗИРОВАНИЯ МЕТОДОМ АКУСТИЧЕСКОЙ ЭМИССИИ, ...

А.Б. Соломашенко, А.С. Кузнецов ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ МИКРООПТИЧЕСКИХ И ДИФРАКЦИОННЫХ ЭЛЕМЕНТОВ С ПОМОЩЬЮ ТЕХНОЛОГИИ КОРРЕЛЯЦИОННОЙ МИКРОСКОПИИ SHUTTLE AND FIND Исследовано совместное использование оптической и электронной микроскопии для комплексного изучения параметров микрооптических и дифракционных элементов. <...> Разработана методика для контроля параметров образцов микрооптических и дифракционных элементов. <...> E-mail: anton.s.goncharov@gmail.com Ключевые слова: сканирующая электронная микроскопия, оптическая микроскопия, корреляционная микроскопия, микролинзовый растр. <...> В современной оптике разработка дифракционных оптических элементов (ДОЭ) с бинарным и многоуровневым поверхностным рельефом, получаемых методами лазерной и электронно-лучевой литографии, а также приборов и устройств на их основе имеют большое практическое значение [1, 2]. <...> При разработке новых усовершенствованных методов контроля ДОЭ к ним предъявляется ряд требований: наряду с бесконтактностью и дистанционностью измерений, они должны иметь широкий диапазон измерений (от нескольких мкм до нескольких сантиметров), высокое разрешение (от 100 нм, что достижимо только на электронном микроскопе, до 1 мкм) и высокое быстродействие. <...> Исследование рельефа поверхности и геометрических параметров ДОЭ оптическими бесконтактными методами в автоматическом режиме является важной задачей как лабораторных исследований, так и контроля промышленной продукции. <...> Корреляционная микроскопия — это новая технология, позволяющая объединить в одном цикле исследование образцов под оптическим и электронным микроскопами. <...> Результаты, полученные на микроскопах Zeiss Axio Imager Z2 Vario и Zeiss EVO MA 10, можно совмещать. <...> 2012 151 мерных объектов или построении топограмм поверхностного рельефа удобно использовать оптический микроскоп, но в том случае, когда требуется высокое разрешение, образец можно перенести под электронный микроскоп; специально разработанный держатель <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт