ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ МИКРООПТИЧЕСКИХ И ДИФРАКЦИОННЫХ ЭЛЕМЕНТОВ С ПОМОЩЬЮ ТЕХНОЛОГИИ КОРРЕЛЯЦИОННОЙ МИКРОСКОПИИ SHUTTLE AND FIND

сканирующая электронная микроскопия оптическая микроскопия корреляционная микроскопия микролинзовый растр.

ПРИМЕНЕНИЕ МОДЕЛЕЙ КОМБИНИРОВАННОГО ТЕПЛООБМЕНА ДЛЯ ПРОЕКТИРОВАНИЯ ТЕПЛОЗАЩИТНЫХ ПОКРЫТИЙ МНОГОРАЗОВЫХ КОСМИЧЕСКИХ АППАРАТОВ, ЛАЗЕРНЫЙ РЕФЛЕКТОМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ И ХАРАКТЕРИСТИК РОСТА НАНОПЛЕНОК ЗОЛОТА НА КВАРЦЕВОЙ ПОДЛОЖКЕ В ПРОЦЕССЕ ИХ НАПЫЛЕНИЯ, ...

А.Б. Соломашенко, А.С. Кузнецов ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ МИКРООПТИЧЕСКИХ И ДИФРАКЦИОННЫХ ЭЛЕМЕНТОВ С ПОМОЩЬЮ ТЕХНОЛОГИИ КОРРЕЛЯЦИОННОЙ МИКРОСКОПИИ SHUTTLE AND FIND Исследовано совместное использование оптической и электронной микроскопии для комплексного изучения параметров микрооптических и дифракционных элементов. <...> Разработана методика для контроля параметров образцов микрооптических и дифракционных элементов. <...> E-mail: anton.s.goncharov@gmail.com Ключевые слова: сканирующая электронная микроскопия, оптическая микроскопия, корреляционная микроскопия, микролинзовый растр. <...> В современной оптике разработка дифракционных оптических элементов (ДОЭ) с бинарным и многоуровневым поверхностным рельефом, получаемых методами лазерной и электронно-лучевой литографии, а также приборов и устройств на их основе имеют большое практическое значение [1, 2]. <...> При разработке новых усовершенствованных методов контроля ДОЭ к ним предъявляется ряд требований: наряду с бесконтактностью и дистанционностью измерений, они должны иметь широкий диапазон измерений (от нескольких мкм до нескольких сантиметров), высокое разрешение (от 100 нм, что достижимо только на электронном микроскопе, до 1 мкм) и высокое быстродействие. <...> Исследование рельефа поверхности и геометрических параметров ДОЭ оптическими бесконтактными методами в автоматическом режиме является важной задачей как лабораторных исследований, так и контроля промышленной продукции. <...> Корреляционная микроскопия — это новая технология, позволяющая объединить в одном цикле исследование образцов под оптическим и электронным микроскопами. <...> Результаты, полученные на микроскопах Zeiss Axio Imager Z2 Vario и Zeiss EVO MA 10, можно совмещать. <...> 2012 151 мерных объектов или построении топограмм поверхностного рельефа удобно использовать оптический микроскоп, но в том случае, когда требуется высокое разрешение, образец можно перенести под электронный микроскоп; специально разработанный держатель <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт