Оптическая система интерферометра для измерения и контроля формы выпуклых сферических поверхностей большого диаметра
Предложена принципиально новая оптическая система лазерного интерферометра для бесконтактного контроля формы крупногабаритных выпуклых сферических поверхностей без снятия с планшайбы станка. Рабочий волновой фронт формируется объективом, состоящим из стационарного сферического зеркала диаметром 1 200 мм и четырех сменных эталон-компенсаторов, диаметры которых составляют менее 120 мм. Волновая аберрация объектива при автоколлимационном ходе лучей не превышает 0,07 длины волны He—Ne лазера.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
УДК 531.715.1
и контроля формы выпуклых сферических поверхностей
большого диаметра
Оптическая система интерферометра для измерения <...> Предложена принципиально новая оптическая система лазерного интерферометра
для бесконтактного контроля формы крупногабаритных
выпуклых сферических поверхностей без снятия с планшайбы станка. <...> Рабочий волновой фронт формируется объективом, состоящим из
стационарного сферического зеркала диаметром 1 200 мм и четырех
сменных эталон-компенсаторов, диаметры которых составляют менее
120 мм. <...> Волновая аберрация объектива при автоколлимационном ходе
лучей не превышает 0,07 длины волны He—Ne лазера. <...> Известно, что все существующие интерферометры для контроля
формы выпуклых сферических поверхностей, содержат оптический
элемент, который создает сходящийся гомоцентрический пучок лучей,
падающих по нормалям на контролируемую поверхность. <...> Увеличение диаметров
контролируемых поверхностей влечет за собой увеличение диаметра и
усложнение конструкции фокусирующего объектива, как это имеет
место в интерферометре ДВИН-600. <...> Поэтому
ДВИН-600 не применяется для контроля выпуклых сферических поверхностей
деталей, расположенных на планшайбе станка. <...> Диаметр пробного стекла
не может превышать 220 мм, поэтому в большинстве случаев пробное
стекло существенно меньше диаметра контролируемой поверхности. <...> Конструкция
данного интерферометра такова, что контролируемую деталь можно
не снимать с планшайбы станка. <...> Само
пробное стекло установлено в специальную оправу, которая опирается
на контролируемую поверхность и снабжена механизмом для его
юстировки. <...> В процессе контроля пробное стекло перемещают по
контролируемой поверхности, причем каждый раз регулируют его
положение с целью получения нужной ширины и направления полос
на интерференционной картине. <...> С целью обеспечения промышленности бесконтактным средством
измерения формы выпуклых сферических поверхностей большого
диаметра <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: