Применение нанотехнологических методов для изготовления пластины маятникового акселерометра

маятниковый акселерометр кварцевая пластина доводка плазмохимическое травление ионно-плазменное напыление магнетронное распыление

Оценка множества работ при решении задач распараллеливания, Сканирующая микроскопия в измерениях нанообъектов, ...

Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия Рассмотрены вопросы нанотехнологического обеспечения показателей качества пластин маятниковых акселерометров. <...> Обосновано применение двухсторонней доводки связанным абразивом для обеспечения требуемой плоско-параллельности пластин. <...> Показана возможность формирования выступов и впадин, предусмотренных конструкцией пластины, методом плазмохимического травления. <...> Предложена методика обеспечения равномерной толщины тонкопленочных покрытий, применяемых в качестве маски при плазмохимическом травлении. <...> Особенности конструкции кварцевых пластин предопределяют применение нанотехнологических методов для их изготовления. <...> Применяемые для изготовления притиров и полировальников абразивно-инструментальные материалы должны об1 <...> Конструкция пластины предусматривает наличие локальных выступов-столбиков высотой 30 мкм. <...> 2 представлена схема для расчета ожидаемой формы износа рабочей поверхности притира. <...> Предполагается, что точность формы доведенной детали определяется точностями формы (отклонениями от плоскостности) рабочих поверхностей притиров. <...> Необходимо аналитически определить геометрические параметры и кинематические факторы операции доводки, обеспечивающие минимальные отклонения от плоскостности рабочих поверхностей притиров в процессе доводки. <...> 2 Применение нанотехнологических методов для изготовления пластины акселерометра Рис. <...> Схема для расчета ожидаемой формы износа притира Свяжем с притиром, сепаратором и деталью системы координат XOY, xoy и χΩη соответственно. <...> (1) AO A В текущем положении процесса доводки притир (система координат XOY) повернулся на угол α, сепаратор (система координат xoy) — на угол β, а деталь в гнезде сепаратора (система координат χΩη) — на угол γ. <...> AO O sin x cos[(1 ) ] k1 На основании этой системы уравнений можно найти величину ра(4) Кроме того, полученная система уравнений позволяет определить элементарное перемещение <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт