Демпфер на основе магнитореологического эластомера для активной виброизоляции нанотехнологичекого оборудования

магнитореологические эластомеры активное демпфирование гистерезис вязкость упругость точные виброизолирующие системы

Методика испытаний на газопроницаемость образцов углепластика с наномодифицированной матрицей, Применение нанотехнологических методов для изготовления пластины маятникового акселерометра, ...

УДК 543.271;533.5.08 Демпфер на основе магнитореологического эластомера для активной виброизоляции нанотехнологичекого оборудования В.П. Михайлов, И.К. Зобов, А.С. Селиваненко МГТУ им. <...> Представлены анализ системы полуактивной виброизоляции и возможность регулировки вязко-упругих свойств демпфера. <...> Исследована эффективность поглощения энергии колебаний МР-эластомерами с использованием полученных зависимостей механического гистерезиса. <...> Представлены результаты экспериментальных исследований активного МР-демпфера на основе МР-эластомера. <...> Показана возможность регулировки коэффициента передачи и жесткости в полуактивном режиме работы МР-демпфера. <...> Получена зависимость индукции от напряженности магнитного поля в рабочем зазоре МР-демпфера. <...> Показано использование ПИД регулирования, которое позволяет увеличить точность позиционирования и плавность перемещения, уменьшить время переходного процесса. <...> При реализации прецизионных процессов в нанотехнологическом и исследовательском оборудовании (в установках групповой и нанолокальной обработки полупроводниковых подложек оптическими, ионными, электронными или рентгеновскими пучками, в сканирующих зондовых микроскопах, в оборудовании адаптивной оптики и др.) зачастую требуется изолировать объект от внешних вибраций [1–4]. <...> Вибрации межэтажных перекрытий, на которых устанавливается прецизионное оборудование, имеют, как правило, широкий спектр частот [5]. <...> В настоящее время применяются различные типы виброизолирующих устройств: пьезоэлектрические, электромагнитные, гидравлические, пневматические и т. д. <...> В.П. Михайлов, И.К. Зобов, А.С. Селиваненко активные, в зависимости от того, подводится к ним дополнительная внешняя энергия для уменьшения амплитуды колебаний или нет. <...> Основным параметром, характеризующим виброизолирующую систему, является коэффициент передачи, равный отношению амплитуд виброперемещений изолируемого оборудования и основания <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт