Лазерная интерференционная холоэллипсометрия in situ с нормальным и брюстеровским отражениями света

эллипсометрия интерферометр Майкельсона бинарная модуляция поляризации одноосный двумерный кристалл

Подготовка специалистов-оптиков на факультете «Оптико-электронное приборостроение» МГТУ им. Н.Э. Баумана, Оптическая система двухдиапазонного интерферометра для контроля формы выпуклых сферических поверхностей диаметром до 600 мм, ...

УДК 535.51 Лазерная интерференционная холоэллипсометрия in situ с нормальным и брюстеровским отражениями света М. <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия Рассмотрена холоэллипсометрия in situ с использованием лазерного интерференционного холоэллипсометра с бинарной модуляцией поляризации и нормальным и брюстеровским отражениями поляризованного света от одноосного двумерного кристалла, размещенного в плече интерферометра Майкельсона, который служит технической основой устройства. <...> Эллипсометрия — перспективный метод реализации мониторинга двумерных кристаллов [1] при их синтезе и обработке в интересах создания материалов с необходимыми для практических целей свойствами. <...> Физической основой мониторинга является исследование изменения состояния поляризации отраженного от кристалла светового потока при каждом цикле осаждения слоев. <...> Изменение состояния поляризации описывается относительным комплексным амплитудным коэффициентом отражения ρ , равным отношению комплексных амплитудных коэффициентов отражения r p и sr для составляющих потока излучения с линейными р- и s-поляризациями <...> Методы двухпараметричности эллипсометрии (1) применяют только для контроля прозрачных изотропных образцов, определяя всего два его параметра: как правило, толщину и показатель преломления. <...> С их помощью измеряют в режиме in situ основные эллипсометрические параметры при различных углах падения одновременно, что позволяет контролировать более сложные объекты, например двумерные кристаллы [4]. <...> Функциональная схема лазерного интерференционного холоэллипсометра in situ приведена на рис. <...> Оптическая схема представленного прибора основана на интерферометре Майкельсона, в котором используется нормальное и брюстеровское падение света на образец S, помещенный в так называемое рабочее плечо интерферометра. <...> Схема лазерного интерференционного холоэллипсометра in situ Источник излучения — лазер L создает поток линейно <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт