Лазерная интерференционная холоэллипсометрия in situ с нормальным и брюстеровским отражениями света

эллипсометрия интерферометр Майкельсона бинарная модуляция поляризации одноосный двумерный кристалл

Расчет нестационарной гидродинамической нагрузки на крышку пускового устройства при подводном выбросе ЛА избыточным давлением газа, Расчет допусков объектива тепловизионной системы, ...

УДК 535.51 Лазерная интерференционная холоэллипсометрия in situ с нормальным и брюстеровским отражениями света М. <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия Рассмотрена холоэллипсометрия in situ с использованием лазерного интерференционного холоэллипсометра с бинарной модуляцией поляризации и нормальным и брюстеровским отражениями поляризованного света от одноосного двумерного кристалла, размещенного в плече интерферометра Майкельсона, который служит технической основой устройства. <...> Эллипсометрия — перспективный метод реализации мониторинга двумерных кристаллов [1] при их синтезе и обработке в интересах создания материалов с необходимыми для практических целей свойствами. <...> Физической основой мониторинга является исследование изменения состояния поляризации отраженного от кристалла светового потока при каждом цикле осаждения слоев. <...> Изменение состояния поляризации описывается относительным комплексным амплитудным коэффициентом отражения ρ , равным отношению комплексных амплитудных коэффициентов отражения r p и sr для составляющих потока излучения с линейными р- и s-поляризациями <...> Методы двухпараметричности эллипсометрии (1) применяют только для контроля прозрачных изотропных образцов, определяя всего два его параметра: как правило, толщину и показатель преломления. <...> С их помощью измеряют в режиме in situ основные эллипсометрические параметры при различных углах падения одновременно, что позволяет контролировать более сложные объекты, например двумерные кристаллы [4]. <...> Функциональная схема лазерного интерференционного холоэллипсометра in situ приведена на рис. <...> Оптическая схема представленного прибора основана на интерферометре Майкельсона, в котором используется нормальное и брюстеровское падение света на образец S, помещенный в так называемое рабочее плечо интерферометра. <...> Схема лазерного интерференционного холоэллипсометра in situ Источник излучения — лазер L создает поток линейно <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт