Оловянный источник из ИСАНа

спектроскопия олово нанолитография литографические машины нанотехнология микросхемы рентгеновское излучение

Сахалинская эпопея, Цивилизация монокристаллов, ...

Оловянный источник из ИСАНа Д ве струи расплавленного олова, между которыми время от времени загорается разряд, испускающий мягкие рентгеновские лучи, — возможно, таким будет источник света для нанолитографии, то есть производства микросхем, ширина линий на которых измеряется нанометрами. <...> Этот источник разработан учеными из троицкого Института спектроскопии РАН. <...> Ныне процессоры делают по так называемой 90- и 65-нанометровым технологиям, то есть с шириной линий 90 и 65 нм. <...> Причем в этом году уже более половины процессоров компании «Intel» были изготовлены по технологии 65 нм, а ближайший конкурент — компания 6 Так выглядит сделанный в ИСАНе прототип источника излучения для нанометровой литографии «AMD» внедрит эту технологию к лету 2007 года. <...> Уменьшение размеров элемента микросхемы требует существенных изменений во всем оборудовании: нужны еще более точные механизмы, еще более чистые комнаты и прочее. <...> Он должен быть, во-первых, мощным, а вовторых, длина волны его излучения никак не может превышать толщину линий на микросхеме больше чем в два раза. <...> А этот метод — засветка эмульсии-фоторезиста светом, отраженным от маски с наносимым узором, и последующее удаление засвеченных участков, был и остается единственным методом массового изготовления микросхем. <...> Конечно, нанотехнологи уже умеют с помощью своих зондовых микроскопов рисовать отдельные линии нанометровой толщины, но изготовители Излучение, развернутое во времени. <...> Цветовая шкала иллюстрирует спектральную яркость излучения Катод Катод процессоров пока не рискуют отказаться от хорошо отлаженного метода и перейти на некое подобие гравировки микросхем вручную. <...> Ультрафиолет еще можно сфокусировать привычными линзами, а вот рентгеновским лучом управляют с помощью так называемых брэгговских многослойных зеркал. <...> И до недавнего времени в мире не было источника мягкого рентгена с достаточно мощным для быстрой засветки фоторезиста лучом. <...> В принципе <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт