Дегидроксилирование и образование дефектов поверхности кварцевого стекла КУ-1 при отжиге
Рассмотрен механизм образования поверхностных дефектов при отжиге кварцевого стекла КУ-1. На основе экспериментальных данных показано, что основной причиной дефектообразования являются внутренние напряжения, возникающие при дегидроксилировании приповерхностной зоны. При температуре отжига свыше 850 С внутренние напряжения, благодаря высокой скорости релаксации, не превышают критических значений и поверхность не изменяется. При более низкой температуре отжига поверхностные трещины образуются уже через несколько десятков часов термообработки.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
Рассмотрен механизм образования поверхностных дефектов при отжиге кварцевого стекла КУ-1. <...> На основе экспериментальных данных показано, что основной причиной дефектообразования являются внутренние напряжения, возникающие при дегидроксилировании приповерхностной зоны. <...> При температуре отжига свыше 850 С внутренние напряжения, благодаря высокой скорости релаксации, не превышают критических значений и поверхность не изменяется. <...> При более низкой температуре отжига поверхностные трещины образуются уже через несколько десятков часов термообработки. <...> Рассмотрен механизм образования поверхностных дефектов при отжиге кварцевого стекла КУ-1. <...> На основе экспериментальных данных показано, что основной причиной дефектообразования являются внутренние напряжения, возникающие при дегидроксилировании приповерхностной зоны. <...> При температуре отжига свыше 850 С внутренние напряжения, благодаря высокой скорости релаксации, не превышают критических значений и поверхность не изменяется. <...> При более низкой температуре отжига поверхностные трещины образуются уже через несколько десятков часов термообработки. <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: