Получение и свойства прозрачных проводящих пленок диоксида олова, допированного фтором
Методом пиролиза аэрозолей получены прозрачные проводящие тонкопленочные покрытия на ос- нове
оксида олова, допированного фтором Sn02 - xFx. Покрытия характеризуются нанокристаллической
структурой со средним размером частиц 14 нм. Исследованы кинетические зависимости изменения со-
противления пленок in situ в процессе увеличения толщины покрытий. Определены основные стадии
процесса роста пленок. Отработаны режимы получения прозрачных пленок Sn02 - xFx с удельной прово-
димостью более 103 См/см.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
Методом пиролиза аэрозолей получены прозрачные проводящие тонкопленочные покрытия на ос- нове оксида олова, допированного фтором Sn02 - xFx. <...> Покрытия характеризуются нанокристаллической структурой со средним размером частиц 14 нм. <...> Исследованы кинетические зависимости изменения со-
противления пленок in situ в процессе увеличения толщины покрытий. <...> Отработаны режимы получения прозрачных пленок Sn02 - xFx с удельной прово- димостью более 103 См/см. <...> Методом пиролиза аэрозолей получены прозрачные проводящие тонкопленочные покрытия на ос- нове оксида олова, допированного фтором Sn02 - xFx. <...> Покрытия характеризуются нанокристаллической структурой со средним размером частиц 14 нм. <...> Исследованы кинетические зависимости изменения со-
противления пленок in situ в процессе увеличения толщины покрытий. <...> Отработаны режимы получения прозрачных пленок Sn02 - xFx с удельной прово- димостью более 103 См/см. <...>
!
<...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: