ОБРАТНАЯ ЗАДАЧА ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ СЛОЕВ ОПТИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ ПО ДАННЫМ МОНОХРОМАТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ
Оптические покрытия используются практически во всей современной оптике, и качество их производства напрямую зависит от оптического контроля прогнозирования момента остановки напыления слоя. Рассматривается обратная задача определения толщины напыленных слоев по данным монохроматического контроля. Решение подобной задачи позволяет устранять систематические ошибки в системе напыления и как следствие увеличивать качество изготовляемых покрытий. В данной работе поставленную задачу предлагается решать методом минимизации функционала невязки, этот метод сравнивается с используемым ранее в этой области методом определения толщины слоев по положению экстремумов. Для сравнения эффективности различных методов было проведено моделирование входных данных, учитывающее как ошибки измерения, так и неравномерность напыления. После этого к данным применили рассмотренные методы и был сделан вывод о том, что метод минимизации функционала невязки численных производных сигнала по времени дает заметно лучший результат и, следовательно, может быть эффективно применен в практике.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
Оптические покрытия используются практически во всей современной оптике, и качество их производства напрямую зависит от оптического контроля прогнозирования момента остановки напыления слоя. <...> Рассматривается обратная задача определения толщины напыленных слоев по данным монохроматического контроля. <...> Решение подобной задачи позволяет устранять систематические ошибки в системе напыления и как следствие увеличивать качество изготовляемых покрытий. <...> В данной работе поставленную задачу предлагается решать методом минимизации функционала невязки, этот метод сравнивается с используемым ранее в этой области методом определения толщины слоев по положению экстремумов. <...> Для сравнения эффективности различных методов было проведено моделирование входных данных, учитывающее как ошибки измерения, так и неравномерность напыления. <...> После этого к данным применили рассмотренные методы и был сделан вывод о том, что метод минимизации функционала невязки численных производных сигнала по времени дает заметно лучший результат и, следовательно, может быть эффективно применен в практике. <...> Оптические покрытия используются практически во всей современной оптике, и качество их производства напрямую зависит от оптического контроля прогнозирования момента остановки напыления слоя. <...> Рассматривается обратная задача определения толщины напыленных слоев по данным монохроматического контроля. <...> Решение подобной задачи позволяет устранять систематические ошибки в системе напыления и как следствие увеличивать качество изготовляемых покрытий. <...> В данной работе поставленную задачу предлагается решать методом минимизации функционала невязки, этот метод сравнивается с используемым ранее в этой области методом определения толщины слоев по положению экстремумов. <...> Для сравнения эффективности различных методов было проведено моделирование входных данных, учитывающее как ошибки измерения, так и неравномерность <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: