СПОСОБ УМЕНЬШЕНИЯ ЗАЗОРА МЕЖДУ ЧИПАМИ В МОЗАИЧНЫХ ФОТОПРИЁМНЫХ МОДУЛЯХ

мозаичные фотоприёмники лазерное скрайбирование фотопрёмники на гетероэпитаксиальных плёнках КРТ фоточувствительные болометрические матрицы кремниевые микросхемы.

ТЕПЛОВЫЕ ПРИЕМНИКИ НЕОХЛАЖДАЕМЫХ МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ ТЕПЛОВИЗИОННЫХ МАТРИЦ. Ч. II. НОВЫЕ, НЕТЕПЛОИЗОЛИРОВАННЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ, АНАЛИЗ МОДИФИКАЦИИ ЭНЕРГЕТИЧЕСКОГО МЕТОДА ПАССИВНОЙ ДАЛЬНОМЕТРИИ, ...

116 УДК 53.06 СПОСОБ УМЕНЬШЕНИЯ ЗАЗОРА МЕЖДУ ЧИПАМИ В МОЗАИЧНЫХ ФОТОПРИЁМНЫХ МОДУЛЯХ А. Р. <...> Николаева, 8 E-mail: novoselov@oesd.ru Предложен способ формирования краёв чипов в целях уменьшения зазора между чипами в мозаичных фотоприёмных модулях, чувствительных в инфракрасном спектральном диапазоне: формирование несимметричных скрайбовых канавок лазерным излучением, откол края поверхности чипа, уходящей под него, и последующая корректировка вертикальности края лазерным излучением. <...> Ключевые слова: мозаичные фотоприёмники, лазерное скрайбирование, фотопрёмники на гетероэпитаксиальных плёнках КРТ, фоточувствительные болометрические матрицы, кремниевые микросхемы. <...> Потребность в увеличении дальности действия и пространственного разрешения тепловизионных систем стимулирует изготовление большеформатных фотоприёмников инфракрасного спектрального диапазона. <...> Одним из известных способов их изготовления является использование мозаичных фотоприёмников (МФ), состоящих, например, из четырёх гибридных фотоприёмников (чипы с фоточувствительными элементами и мультиплексорами) форматом 1024Ч1024 и размером пиксела 27Ч27 мкм [1]. <...> Однако за счёт большой технической зоны стыковки гибридных фотоприёмников расстояние между краевыми фоточувствительными элементами соседних фотоприёмников может составить до 283 фоточувствительных элементов [1], что приводит к потере информации в изображении. <...> В работе [2] рассмотрен фотоприёмник, имеющий увеличенную геометрию краевых пикселов, закрывающих область стыковки с соседним фотоприёмником. <...> В работе [4] отмечено, что при изготовлении монолитных МФ на приборной пластине между соседними чипами, в которых отсутствуют зазоры для скрайбирования, из-за дефектности пластины может быть очень низкий выход годных. <...> При изготовленииМФ технология минимизации расстояний между краевыми пикселами соседних фотоприёмников является чрезвычайно важной. <...> В данной работе рассмотрен вариант <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт