РУсскоязычный Архив Электронных СТатей периодических изданий
Найти!
Прикладная физика/2016/№ 1/
В наличии за
100 руб.
Купить
Облако ключевых слов*
* - вычисляется автоматически
Недавно смотрели:

Образование поверхностных медно-углеродных микроструктур при распылении составной графитово-медной мишени магнетронным способом

В данной работе представлены результаты применения магнетронной распылительной системы. Методом магнетронного распыления составной графитово-медной мишени получены поверхностные медно-углеродные структуры и выявлены условия их образования. Приведены характерные изображения структур на подложке, полученные с помощью атомно-силовой микроскопии. Найдены режимы распыления графитово-медной мишени. Показано, что на эффективность процесса распыления, кроме конструкции магнетрона и мишени, во многом влияют условия эксперимента. В работе экспериментально подобрана плотность потока распылённых атомов на подложку, температура мишени и подложки, давление аргона. Найдено, что подобные структуры не образуются без промежуточного металлического слоя. В нашем случае это была пленка меди. В общем виде учесть влияние всех этих параметров на полученный результат для расчета процесса распыления составной мишени не представляется возможным. Поэтому трудно оценить возможность получения подобных структур с другими металлами.

Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
Прикладная физика, 2016, 1 49 Физика плазмы и плазменные методы УДК 535.8 Образование поверхностных медно-углеродных микроструктур при распылении составной графитово-медной мишени магнетронным способом <...> С. И. Валянский, С. В. Виноградов, М. А.Кононов, В. М. Кононов, С. Ф. Растопов В данной работе представлены результаты применения магнетронной распылительной системы. <...> Методом магнетронного распыления составной графитово-медной мишени получены поверхностные медно-углеродные структуры и выявлены условия их образования. <...> Приведены характерные изображения структур на подложке, полученные с помощью атомно-силовой микроскопии. <...> Показано, что на эффективность процесса распыления, кроме конструкции магнетрона и мишени, во многом влияют условия эксперимента. <...> В работе экспериментально подобрана плотность потока распылённых атомов на подложку, температура мишени и подложки, давление аргона. <...> Например, давно известный и надежный метод получения ацетиленидов меди восстановлением солянокислым гидроксиламином аммиачных растворов хлорида, сульфата или нитрата Сu или образование и рост ацетиленидов при термическом разложении углеводородов [1, 2] . <...> E-mail: mike@kapella.gpi.ru Статья поступила в редакцию 23 ноября 2015 г. Валянский С. И., Виноградов С. В., Кононов М. А., Кононов В. М., Растопов С. Ф., 2016 тальное исследование возможности получения медно-углеродных структур методом магнетронного напыления. <...> Методика проведения эксперимента В общем виде схема эксперимента заключалась в следующем: магнетроном распылялась графитовая мишень с вставками меди. <...> На очищенную и обработанную высокочастотной плазмой стеклянную подложку напылялся магнетронным способом слой меди толщиной 100 нм. <...> Этот промежуточный слой Cu необходимо было предварительно напылять, так как на поверхности чистого стекла описанные ниже медно-углеродные структуры вообще не образуются. <...> 50 После напыления меди подложка крепилась к подогреваемому столику, находившемуся <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности

Похожие документы:

  • Похожие документы из РУАЭСТ
  • |
  • Похожие документы из Руконт

Помощь:

Участники:

© НЦР Руконт 2014