Мониторинг масс-зарядового состава пучковой плазмы модернизированным квадрупольным анализатором в форвакуумной области давлений

Представлена конструкция и принцип работы модернизированного квадрупольного анализатора остаточной атмосферы. Модернизация анализатора заключалась в замене ионизатора устройства на извлекающий ионы узел. Учитывая особенности генерации пучковой плазмы и специфику форвакуумного диапазона давлений данная замена в сочетании с подачей на коллектор электронного пучка положительного относительно земли потенциала позволила проводить мониторинг масс-зарядового состава такой плазмы. Показаны результаты исследований масс-зарядового состава ионов пучковой плазмы различных газов, генерируемой непрерывным электронным пучком с током порядка 30 мА при давлении в области его распространения до 10 Па. Установлено, что в пучковой плазме генерируемой форвакуумным электронным источником наблюдаются только однократно ионизованные атомы напускаемых и остаточных газов независимо от энергии и тока электронного пучка.

Авторы

Тэги

плазменный источник электронов форвакуумная область давлений диагностика пучковой плазмы масс-зарядовый состав ионов плазмы.

Тематические рубрики

Прикладные науки. Медицина. Технология

Предметные рубрики

В этом же номере:

Исследование газового разряда с жидким электролитным катодом вблизи его критических тепловых режимов, Влияние анизотропии теплопроводности на распределение температуры в твердом теле, ...

Резюме по документу**

96 Прикладная физика, 2016, 1 Физическая аппаратура и её элементы УДК 533.9.082.74 Мониторинг масс-зарядового состава пучковой плазмы модернизированным квадрупольным анализатором в форвакуумной области давлений <...> А. В. Тюньков, Ю. Г. Юшков, А. С. Климов Представлена конструкция и принцип работы модернизированного квадрупольного анализатора остаточной атмосферы. <...> Модернизация анализатора заключалась в замене ионизатора устройства на извлекающий ионы узел. <...> Учитывая особенности генерации пучковой плазмы и специфику форвакуумного диапазона давлений данная замена в сочетании с подачей на коллектор электронного пучка положительного относительно земли потенциала позволила проводить мониторинг масс-зарядового состава такой плазмы. <...> Установлено, что в пучковой плазме генерируемой форвакуумным электронным источником наблюдаются только однократно ионизованные атомы напускаемых и остаточных газов независимо от энергии и тока электронного пучка. <...> Ds Ключевые слова: плазменный источник электронов, форвакуумная область давлений, диагностика пучковой плазмы, масс-зарядовый состав ионов плазмы. <...> 2) система извлечения (электроды 9—11), фильтр масс 12, блок управления 14, ионизационная лампа 15, стационарная система откачки, включающая в себя диафрагменный и турбомолекулярные насосы. <...> Модернизация анализатора заключалась в демонтаже ионизатора с последующим замещением его на извлекающий ионы узел, который представляет собой трехэлектродную систему извлечения 9—11. <...> Модернизация анализатора остаточной атмосферы позволяет, в отличие от исходной конструкции, извлекать и анализировать ионы непосредственно из пучковой плазмы без потери разрешающей способности исходного устройства. <...> Схема экспериментальной установки: 1 — полый катод, 2 — анод с перфорированным электродом, 3 — ускоряющий электрод, 4 — фокусирующая система, 5 — вакуумная камера, 6 — пучковая плазма, 7 — пучок электронов, 8 — коллектор, 9 — извлекающий <...>

** - вычисляется автоматически, возможны погрешности

Похожие документы:

Похожие документы из РУАЭСТ
|
Похожие документы из Руконт

Мониторинг масс-зарядового состава пучковой плазмы модернизированным квадрупольным анализатором в форвакуумной области давлений

Помощь:

Участники: