Мониторинг масс-зарядового состава пучковой плазмы модернизированным квадрупольным анализатором в форвакуумной области давлений

плазменный источник электронов форвакуумная область давлений диагностика пучковой плазмы масс-зарядовый состав ионов плазмы.

Образование поверхностных медно-углеродных микроструктур при распылении составной графитово-медной мишени магнетронным способом, Влияние редкоземельных атомов на температурную зависимость фототока в монокристаллах GeS, ...

96 Прикладная физика, 2016, 1 Физическая аппаратура и её элементы УДК 533.9.082.74 Мониторинг масс-зарядового состава пучковой плазмы модернизированным квадрупольным анализатором в форвакуумной области давлений <...> А. В. Тюньков, Ю. Г. Юшков, А. С. Климов Представлена конструкция и принцип работы модернизированного квадрупольного анализатора остаточной атмосферы. <...> Модернизация анализатора заключалась в замене ионизатора устройства на извлекающий ионы узел. <...> Учитывая особенности генерации пучковой плазмы и специфику форвакуумного диапазона давлений данная замена в сочетании с подачей на коллектор электронного пучка положительного относительно земли потенциала позволила проводить мониторинг масс-зарядового состава такой плазмы. <...> Установлено, что в пучковой плазме генерируемой форвакуумным электронным источником наблюдаются только однократно ионизованные атомы напускаемых и остаточных газов независимо от энергии и тока электронного пучка. <...> Ds Ключевые слова: плазменный источник электронов, форвакуумная область давлений, диагностика пучковой плазмы, масс-зарядовый состав ионов плазмы. <...> 2) система извлечения (электроды 9—11), фильтр масс 12, блок управления 14, ионизационная лампа 15, стационарная система откачки, включающая в себя диафрагменный и турбомолекулярные насосы. <...> Модернизация анализатора заключалась в демонтаже ионизатора с последующим замещением его на извлекающий ионы узел, который представляет собой трехэлектродную систему извлечения 9—11. <...> Модернизация анализатора остаточной атмосферы позволяет, в отличие от исходной конструкции, извлекать и анализировать ионы непосредственно из пучковой плазмы без потери разрешающей способности исходного устройства. <...> Схема экспериментальной установки: 1 — полый катод, 2 — анод с перфорированным электродом, 3 — ускоряющий электрод, 4 — фокусирующая система, 5 — вакуумная камера, 6 — пучковая плазма, 7 — пучок электронов, 8 — коллектор, 9 — извлекающий <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт