Структурные свойства подложек кадмий-цинк-теллур для выращивания твердых растворов кадмий-ртуть-теллур
В работе представлены экспериментальные результаты исследования и анализа структурных свойств подложек кадмий-цинк-теллур (КЦТ), предназначенных для эпитаксии кадмийртуть-теллур (КРТ), методами рентгеновской дифрактометрии, селективного травления, инфракрасной микроскопии. Показана взаимосвязь формы и полной ширины на полувысоте кривой качания со структурными дефектами, присутствующими в материале. Преципитаты и включения второй фазы, присутствующие в материале подложки в количестве 102— 104 см-2, не оказывают влияния на значения полной ширины на полувысоте кривой качания. Уширение кривой качания вызвано повышенной плотностью дислокаций (>8105), либо их ячеистым характером распределения. Построены карты распределения значений полной ширины на полувысоте кривой качания для определения структурного совершенства по всей площади образцов, позволяющие проводить оценку пригодности пластин для дальнейшего технологического процесса.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
ФОТОЭЛЕКТРОНИКА
УДК 621.383.4/5:621.315.59
Структурные свойства подложек кадмий-цинк-теллур для выращивания
твердых растворов кадмий-ртуть-теллур <...> И. Д. Бурлаков, М. Б. Гришечкин, И. А. Денисов, Н. И. Шматов
В работе представлены экспериментальные результаты исследования и анализа структурных
свойств подложек кадмий-цинк-теллур (КЦТ), предназначенных для эпитаксии кадмийртуть-теллур
(КРТ), методами рентгеновской дифрактометрии, селективного травления,
инфракрасной микроскопии. <...> Показана взаимосвязь формы и полной ширины на полувысоте
кривой качания со структурными дефектами, присутствующими в материале. <...> Уширение кривой качания вызвано повышенной плотностью дислокаций (>8
105), либо их
ячеистым характером распределения. <...> Построены карты распределения значений полной ширины
на полувысоте кривой качания для определения структурного совершенства по всей
площади образцов, позволяющие проводить оценку пригодности пластин для дальнейшего
технологического процесса. <...> E-mail: lab27@giredmet.ru
Статья поступила в редакцию 30 марта 2016 г.
Пряникова Е. В., Мирофянченко А. Е., Смирнова Н. А.,
Силина А. А., Бурлаков И. Д., Гришечкин М. Б.,
Денисов И. А., Шматов Н. И., 2016
Пряникова Екатерина Васильевна, инженер 2 кат. <...> Основными
способами получения таких структур являются
эпитаксиальные методы выращивания, которые
предъявляют высокие требования к качеству
используемого подложечного материала. <...> В данной работе представлены результаты
исследования структурных характеристик подложек
методами рентгеновской дифрактометрии,
селективного травления и инфракрасной микроскопии
в интересах формирования объективной
оценки пригодности материала для выращивания
структур КРТ. <...> Методом ИК-микроскопии проводились исследования преципитатов и включений второй фазы с помощью микроскопа Olympus BX51, работающего в проходящем свете в диапазоне длин волн от 0,75 до 1,2 мкм. <...> Селективное травление образцов проводили с помощью водного раствора CrO3 и HF [10] с дальнейшим <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: