МИКРООПТОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ НА ОСНОВЕ ОПТИЧЕСКОГО ТУННЕЛЬНОГО ЭФФЕКТА∗

микрооптоэлектромеханический преобразователь угловая скорость пьезокерамика оптическое туннелирование отражательная способность.

ПЕРЕСТРАИВАЕМЫЙ ВРАЩЕНИЕМ ДВУХЛУЧЕВОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР С НЕПОДВИЖНЫМ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫМ ЭЛЕМЕНТОМ. Ч. I. ИНТЕРФЕРОМЕТР НА ОСНОВЕ СВЕТОДЕЛИТЕЛЬНОГО КУБИКА, СИСТЕМА АВТОМАТИЗАЦИИ БОЛЬШОГО СОЛНЕЧНОГО ВАКУУМНОГО ТЕЛЕСКОПА, ...

124 УДК 681.586.5 МИКРООПТОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ УГЛОВЫХ СКОРОСТЕЙ НА ОСНОВЕ ОПТИЧЕСКОГО ТУННЕЛЬНОГО ЭФФЕКТА <...> В. И. Бусурин, А. Т. Фам Московский авиационный институт, 125993, Москва, А-80, ГСП-3, Волоколамское шоссе, 4 E-mail: vbusurin@mai.ru Представлена возможность построения микрооптоэлектромеханического (МОЭМ) преобразователя угловых скоростей на основе оптического туннельного эффекта. <...> Определён эффективный диапазон измерения угловых скоростей при обеспечении квазилинейности функции преобразования. <...> Одно из перспективных направлений разработок новых датчиков и преобразователей угловых скоростей—создание микроэлектромеханических систем (МЭМС), в том числе микрооптоэлектромеханических (МОЭМ) преобразователей на основе оптического туннельного эффекта (ОТЭ). <...> Общими недостатками большинства ёмкостныхМЭМС-датчиков являются возможность пробоя конденсаторов, возникающая при максимальных перемещениях чувствительного элемента (ЧЭ), что приводит к выходу таких приборов из строя, и нелинейность функции преобразования, сильно зависящая от глубины модуляции ёмкостного зазора [6]. <...> В. И. Бусурин, А. Т. Фам 125 Цель данной работы — устранение указанных недостатков за счёт обеспечения возможности оптического считывания результатов измерений в преобразователе угловой скорости при использовании ОТЭ. <...> Предлагаемый одноосевой МОЭМ-преобразователь угловых скоростей на основе ОТЭ может быть построен в системе призма полного внутреннего отражения—воздух—ЧЭ, в которой ЧЭ выполнен из пьезокерамического материала и испытывает вибрационные колебания из-за возникающих сил Кориолиса под действием измеряемой угловой скорости. <...> Структура и функция преобразования МОЭМ-преобразователя угловых скоростей на основе ОТЭ. <...> Для обеспечения гальванической развязки цепи возбуждения ЧЭ и схемы съёма информации, уменьшения диапазона требуемых перемещений до сотен нанометров и снижения напряжения возбуждения <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт