ТЕСТИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОДОВ ИЗ ХРОМОНИКЕЛЕВОГО СПЛАВА В ТРОЙНОМ ЛЕНГМЮРОВСКОМ ЗОНДЕ, ПРЕДНАЗНАЧЕННОМ ДЛЯ ДИАГНОСТИКИ ПЛАЗМЫ
Исследована возможность использования хромоникелевого сплава в качестве материала зондов для диагностики плазмы газовых разрядов. Разработан симметричный тройной ленгмюровский зонд с управляющей схемой, проведено его испытание в индуктивно связанной плазме, которая создавалась радиочастотным генератором (13,56 МГц), включенным в систему автоматического согласования импеданса. C помощью такого зонда получены зависимости электронной температуры, плотности электронов и силы тока ионного насыщения от мощности радиочастотного генератора и давления газа в разрядной камере. Обнаружено, что при увеличении входной радиочастотной мощности температура и плотность электронов увеличиваются, а с увеличением давления азота в камере — уменьшаются. Суммарная погрешность измерений электронной температуры составила 5 ÷ 12 %, плотности электронов — 3 ÷ 13 %.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
57, NУДК 539.9 ТЕСТИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОДОВ ИЗ ХРОМОНИКЕЛЕВОГО СПЛАВА В ТРОЙНОМ ЛЕНГМЮРОВСКОМ ЗОНДЕ, ПРЕДНАЗНАЧЕННОМ ДЛЯ ДИАГНОСТИКИ ПЛАЗМЫ М. Я. <...> Хан Технологический университет PETRONAS, 31750 Бандар Сери Искандар, Малайзия Сельскохозяйственный университет, 38040 Файзалабад, Пакистан Университет короля Сауда, 11451 Рияд, Саудовская Аравия Институт информационных технологий COMSATS, Исламабад, Пакистан Инженерный колледж Университета короля Сауда, 11451 Рияд, Саудовская Аравия E-mails: yasin603@yahoo.com, zshukrullah@gmail.com, chabdulghaffar@yahoo.com, Najeeb ur rehman@comsats.edu.pk, yasink@ksu.edu.sa Исследована возможность использования хромоникелевого сплава в качестве материала зондов для диагностики плазмы газовых разрядов. <...> Разработан симметричный тройной ленгмюровский зонд с управляющей схемой, проведено его испытание в индуктивно связанной плазме, которая создавалась радиочастотным генератором (13,56 МГц), включенным в систему автоматического согласования импеданса. <...> C помощью такого зонда получены зависимости электронной температуры, плотности электронов и силы тока ионного насыщения от мощности радиочастотного генератора и давления газа в разрядной камере. <...> Обнаружено, что при увеличении входной радиочастотной мощности температура и плотность электронов увеличиваются, а с увеличением давления азота в камере—уменьшаются. <...> Ленгмюр впервые измерил вольт-амперную характеристику зонда в газовых разрядах, поместив в разряд проводящую проволоку, и предложил теорию, позволяющую определять температуру электронов и плотность плазмы [1, 2]. <...> Этот простой прибор, названный зондом Ленгмюра и использующийся для диагностики плазмы, позволяет получать такую информацию о плазме, как электронная температура, плотность электронов, потенциал плазмы, функция распределения электронов по энергиям. <...> В последние годы Работа выполнена при финансовой поддержке отдела научных исследований Университета короля Сауда (Рияд, Саудовская <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: