РУАЭСТ (RUAEST)
Облако ключевых слов*
- "использованный газ"
- "pecvd"
- "методы осаждения"
- "метод pecvd"
- "боразин"
- "нитрид"
- "исходные смеси"
- "химический состав"
- "электронное строение"
- "гексагональный"
- "влияние состава"
- "гексагональный нитрид"
- "наностенка"
- "полученные образцы"
- "журнал химии"
- "рфэс"
- "57376"
- "структурная химия"
- "метод рфэс"
- "пленки нитрида"
- "плазмохимическое осаждение"
- "рентгеноэлектронные исследования"
- "состав смеси"
- "состав образца"
- "исходная фаза"
- "рентгеноэлектронный"
- "изменение строения"
- "состав пленок"
- "смесь боразина"
- "рентгеновская спектроскопия"
* - вычисляется автоматически
Недавно смотрели:
-
Документы за октябрь - декабрь 1958 г.
-
Определение звукоизоляции ограждающей конструкции из керамзитобетона в лабораторных условиях
-
К проблеме формирования физико-технической компетентности студентов-физиков педагогических вузов и старших школьников
-
Школа в свободной России
-
РЕНТГЕНОЭЛЕКТРОННОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ СОСТАВА ИСХОДНОЙ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ НА ИЗМЕНЕНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО СТРОЕНИЯ ПЛЕНОК ГЕКСАГОНАЛЬНОГО НИТРИДА БОРА, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ PECVD ИЗ БОРАЗИНА
РЕНТГЕНОЭЛЕКТРОННОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ СОСТАВА ИСХОДНОЙ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ НА ИЗМЕНЕНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО СТРОЕНИЯ ПЛЕНОК ГЕКСАГОНАЛЬНОГО НИТРИДА БОРА, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ PECVD ИЗ БОРАЗИНА
Пленки гексагонального нитрида бора синтезированы методом плазмохимического осаждения из газовой смеси боразина и аммиака или гелия на подложке Si(100). Методом РФЭС исследованы изменения электронного строения и химического состава пленок в зависимости от состава исходной газовой смеси. Установлено, что химический состав полученных образцов зависит от используемого газа.
Авторы
Тэги
гексагональный нитрид бора
рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
электронное строение
тонкие пленки
PECVD
боразин
наностенки.
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
КРИСТАЛЛИЧЕСКАЯ СТРУКТУРА НОВОГО БИЯДЕРНОГО КОМПЛЕКСА бис(2,4,6,8-ТЕТРАМЕТИЛ-2,4,6,8-ТЕТРААЗАБИЦИКЛО(3.3.0)ОКТАН-3,7-ДИОН-О,О')-ТЕТРААКВА-гексакис(НИТРАТО-О,О')-ДИЕВРОПИЯ(III),
КРИСТАЛЛИЧЕСКАЯ СТРУКТУРА ПРОДУКТОВ РЕАКЦИИ ФЕНИЛГИДРАЗИНА С ДИАЦЕТИЛЗАМЕЩЕННЫМ КЕТОЛОМ ЦИКЛОГЕКСАНОВОГО РЯДА,
...
Резюме по документу**
Пленки гексагонального нитрида бора синтезированы методом плазмохимического осаждения из газовой смеси боразина и аммиака или гелия на подложке Si(100). <...> Методом РФЭС исследованы изменения электронного строения и химического состава пленок в зависимости от состава исходной газовой смеси. <...> Установлено, что химический состав полученных образцов зависит от используемого газа. <...> Пленки гексагонального нитрида бора синтезированы методом плазмохимического осаждения из газовой смеси боразина и аммиака или гелия на подложке Si(100). <...> Методом РФЭС исследованы изменения электронного строения и химического состава пленок в зависимости от состава исходной газовой смеси. <...> Установлено, что химический состав полученных образцов зависит от используемого газа. <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: