Влияние электростатического экрана на зажигание емкостного и индукционного разрядов низкого давления

Приведены результаты экспериментального исследования влияния электростатического экрана на характеристики зажигания емкостного и индукционного разрядов низкого давления в смеси паров ртути давлением 7,510–3 мм рт. ст. и инертного газа (аргона) давлением 0,3 мм рт. ст. Разряд зажигался на частоте f = 13,56 МГц в каплеобразной колбе (IDb = 105 мм, Hb = 118 мм), имеющей на своей оси цилиндрическую полость (ODcav = 36 мм, Hcav = 65 мм), в которой размещалась индуктивная катушка с числом витков N = 6, 8 и 11. Установлено, что для уменьшения емкостной связи между индуктивной катушкой и плазмой индукционного разряда и предотвращения формирования между плазмой и стенкой полости постоянного электрического поля, ускоряющего ионы к стенке полости, катушка должна быть размещена «внутри» электростатического экрана на расстоянии от его верхней кромки не менее, чем на 5 мм. Обнаружено, что применение экрана повысило напряжение зажигания емкостного разряда до значений, превышающих напряжение зажигания индукционного разряда.

• Попов О.А.
• Атаев А.Е.

• Прикладные науки. Медицина. Технология

• Технические науки. Промышленность
• Физико-математические науки
• Социальные (общественные) науки