ИК СПЕКТРЫ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ITO ПЛЁНОК, ПОЛУЧЕННЫХ РЕАКТИВНЫМ ВЧ МАГНЕТРОННЫМ НАПЫЛЕНИЕМ С ИОННО-ЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКОЙ

Исследованы ИК спектры отражения и пропускания онкарнисталлических плёнок ITO, полученных посредством чередования процессов реаквтиного ВЧ магнетронного распыления и ионно-лучевой обработки. Показано влияние ионно-лучевой обработкина наличие гидроксильной группы, величину напряжения в системе плёнка-подложка, изменение цкеоннтрации носителей заряда.

• Закирова Р.М.
• Федотова И.В.
• АКАШКИНА Р.Г.
• КРЫЛОВ П.Н.
• ШИРОБОКОВ Е.П.

• Прикладные науки. Медицина. Технология

• Технические науки. Промышленность
• Естественные науки
• Физико-математические науки