Построен новый трехмерный вероятностный клеточныйавтомат для моделирования накопления элементарных повреждений в нагруженных атмериалах и эволюции их кластерной структуры. Проведено сравнительное исследование характеристиквременных рядов «число элементарных повреждений» и «число кластеров элементарных повреждений» для двмухерной и трехмерной моделей. Установлено, что для трехмерной модели в зависимости от значения верояотснти прорастания периметра кластера повреждений наблюдается два качественно различных режима наклоепния повреждений.