ФОРМИРОВАНИЕ МНОГОСЛОЙНОЙ МЕЖФАЗНОЙ ГРАНИЦЫ ПРИ ТЕРМООБРАБОТКЕ КОНТАКТА Pd-Si

Методом электронографии на отражение в сочетании с послойным химическим травлением исследована структура границы раздела Pd-Si, подвергнутой термообработке в интервале температур 330 – 870 К. Показано, что на границе раздела фаз образуется переходный слой (ПС), состоящий из аморфной области и прилегающей к ней области упругодеформированного кремния нанометровых толщин. Общая толщина ПС определяется температурой термообработки. Предложена модель трехфазной аморфизации.

• Федотова И.В.
• КРЫЛОВ П.Н.
• ФЕДОТОВ А.Б

• Искусство. Декоративно-прикладное искусство. Фотография. Музыка. Игры. Спорт

• Технические науки. Промышленность
• Естественные науки
• Физико-математические науки