РЕАКТИВНОЕ ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ ПОВЕРХНОСТИ СИНТЕТИЧЕСКОГО МОНОКРИСТАЛЛА АЛМАЗА В ПЛАЗМЕ

Исследовано влияние реактивного ионного травления в плазме Ar/O2 на синтетический HPHT монокристалл алмаза. Показано, что плазменная обработка может привести к сглаживанию поверхности алмаза. Было достигнуто уменьшение среднеквадратичной шероховатости с 4,6 до 3,7 нм на базе 10 мкм × 10 мкм. Топография и профили поверхности исследовались с помощью атомно-силовой микроскопии (АСМ) на различных пространственных масштабах.

• Бланк В.Д.
• ВОЛКОВА П.
• Бормашов В.С.
• Буга С.Г.
• Голованов А.В.
• Тарелкин С.А.

• Прикладные науки. Медицина. Технология

• Социальные (общественные) науки
• Естественные науки