В работе изложены результаты исследования методами поляризационных и импедансных измерений анодного поведения моносилицида кобальта CoSi в сернокислом электролите в области от потенциала коррозии до потенциалов выделения кислорода. Спектры импеданса описаны с помощью эквивалентной схемы, учитывающей наличие оксидного слоя на поверхности электрода. Проанализирована зависимость параметров эквивалентной электрической схемы и временных констант от потенциала электрода. Сделан вывод, что высокая анодная стойкость моносилицида кобальта в сернокислых растворах обусловлена барьерными свойствами оксидной пленки.