Проведено исследование влияния водорода и кислорода на спектральные характеристики и состав нейтральной компоненты в плазме хлористого водорода в условиях тлеющего разряда постоянного тока. Посредством математического моделирования получены коэффициенты скорости возбуждения всех излучающих фрагментов и концентрации электронов при различных составах смесей хлористого водорода с водородом и кислородом.