ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ И КОНЦЕНТРАЦИИ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ В ПЛАЗМЕ СМЕСЕЙ МЕТАНА С АРГОНОМ

Проведено исследование стационарных параметров и состава плазмы смесей CH4-Ar переменного состава в условиях тлеющего разряда постоянного тока (p=40-200 Па, i=30-70 мА). Получены данные по приведенной напряженности электрического поля, энергетическим распределениям и концентрациям электронов. Проведен анализ кинетики процессов образования и гибели заряженных частиц.

• Семенова О.А.
• Ефремов А.М.
• Баринов С.М.

• Прикладные науки. Медицина. Технология

• Социальные (общественные) науки
• Естественные науки