РУАЭСТ (RUAEST)
Облако ключевых слов*
* - вычисляется автоматически
Недавно смотрели:
-
ИНВАРИАНТНЫЕ ПРАКТИЧЕСКИЕ ЗАДАНИЯ ДЛЯ РАБОТЫ С ГРАФИЧЕСКИМИ ИЗОБРАЖЕНИЯМИ В ОСНОВНОЙ ШКОЛЕ
-
ВОССТАНОВЛЕНИЕ СОЦИАЛЬНОЙ СФЕРЫ ГОРОДА ВОРОНЕЖА В 1943–1945 ГОДАХ
-
О НЕКОТОРЫХ ПРЕДСТАВЛЕНИЯХ ГАММА-ФУНКЦИИ
-
В дендритах легких
-
ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ПЛАЗМЫ СМЕСЕЙ ХЛОРОВОДОРОД - АРГОН, - ХЛОР, - ВОДОРОД С АРСЕНИДОМ ГАЛЛИЯ
ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ПЛАЗМЫ СМЕСЕЙ ХЛОРОВОДОРОД - АРГОН, - ХЛОР, - ВОДОРОД С АРСЕНИДОМ ГАЛЛИЯ
Проведено исследование плазмохимического травления GaAs в смесях HCl-Ar, HCl-Cl2 и HCl-H2 в условиях тлеющего разряда постоянного тока. Показано, что скорость травления GaAs при разбавлении HCl аргоном и водородом уменьшается быстрее, чем концентрация атомов хлора. В смесях HCl-Cl2 скорость травления проходит через максимум при содержании хлора порядка 75%. На возрастающем участке кривой скорость травления пропорциональна потоку атомов хлора, а после прохождения максимума лимитирующей стадией становится десорбция продуктов травления под действием ионной бомбардировки.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ И КОНЦЕНТРАЦИИ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ В ПЛАЗМЕ СМЕСЕЙ МЕТАНА С АРГОНОМ,
СИНТЕЗ НЕОРГАНИЧЕСКИХ ГИБРИДНЫХ МАТЕРИАЛОВ СОВМЕСТНЫМ ОСАЖДЕНИЕМ ГИДРОКСИДОВ Mg(II), Al(III), Cr(III) И АДСОРБЦИЯ НА НИХ ИОНОВ Cu2+ И Pb2+,
...
Резюме по документу**
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: