Исследования свойств многослойной металлизации структур "кремний на молибдене", полученной методом магнетронного распыления

адгезионная прочность кремниевые структуры кремний на молибдене магнетронное распыление металлизация металлические покрытия металлические слои многослойная металлизация многослойные металлические покрытия молибденовые термокомпенсаторы

Расчет эффективности элементов питания на основе микроканального кремния и бета-источника никель-63, Моделирование фазовых превращений диоксида урана методом молекулярной динамики, ...

В. В. Елисеев, М. Ю. Малыгин, М. И. Новопольцев, В. А. Юдин ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ МНОГОСЛОЙНОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ СТРУКТУР «КРЕМНИЙ НА МОЛИБДЕНЕ», ПОЛУЧЕННОЙ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ1 Аннотация. <...> Межэлементные соединения современных силовых полупроводниковых приборов должны обладать в широком диапазоне рабочих температур минимальными электрическими и тепловыми сопротивлениями, индуктивностью и высокой механической прочностью. <...> Важную роль в технологии таких соединений играют металлические слои, нанесенные составные части силовых полупроводниковых приборов: кремниевые структуры и молибденовые термокомпенсаторы. <...> Целью данной работы является исследование свойств многослойной металлизации поверхностей межэлементных соединений и молибденовых термокомпенсаторов, используемых в структуре «кремний на молибдене» с низкотемпературными соединениями мощных силовых полупроводниковых приборов нового поколения. <...> Исследовано несколько вариантов многослойной металлизации, нанесенной магнетронным напылением на шлифованные поверхности межэлементных соединений и молибденовых термокомпенсаторов: Al-Ti-Ni-Ag, Ti-Ni-Ag, Ni-Ag и Ag. <...> Для измерения адгезионной прочности многослойной металлизации использовался метод измерительного царапания (скретч-тестирования). <...> Элементный состав слоев металлизации определялся на растровом электронном микроскопе Quanta 200i 3D FEI с использованием возможностей функции картирования. <...> Установлено, что значения массовой доли основного элемента в слоях многослойной металлизации кремниевых структур находятся в интервале от 97 до 99 %, а в слоях многослойной металлизации молибденовых термокомпенсаторов – от 97 до 98 %. <...> Исследована зависимость адгезионной прочности покрытий от вида многослойной металлизации кремниевых структур и молибденовых термокомпенсаторов, суммарной толщины ее слоев и вида термообработки. <...> Установлено, что максимальную адгезионную прочность на поверхности <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт