В статье рассмотрены особенности химического осаждения покрытий на алюминиевых контактных площадках интегральных схем. Показано применение метода инверсионной вольтамперометрии для определения эффективной концентрации ионов в электролитах при химическом осаждении. Определено влияние функциональных добавок в электролиты на дефектность формируемых покрытий.