Изменение межфазной энергии тонких пленок в процессе упругой деформации рассмотрено в рамках модифицированного электронно-статистического метода. Показано, что при упругой деформации межфазная энергия тонких пленок изменяется нелинейно. На графиках приведены ход электронной плотности тонких пленок переходных металлов и размерная зависимость межфазной энергии при различной деформации.