ФОРМИРОВАНИЕ МУЛЬТИСЛОЙНЫХ СТРУКТУР ZnS/SiO2 ВЧ МАГНЕТРОННЫМ НАПЫЛЕНИЕМ НА МОДЕРНИЗИРОВАННОЙ УСТАНОВКЕ КАТОД-1МАЛАЛЫКИН С.С.,Закирова Р.М.,Федотова И.В.,КРЫЛОВ П.Н.,КОБЗИЕВ В.Ф.
Химическая физика и мезоскопия, 2015, 3, С. 34-37
|