РУсскоязычный Архив Электронных СТатей периодических изданий
Химическая физика и мезоскопия/2015/№ 3/

ФОРМИРОВАНИЕ МУЛЬТИСЛОЙНЫХ СТРУКТУР ZnS/SiO2 ВЧ МАГНЕТРОННЫМ НАПЫЛЕНИЕМ НА МОДЕРНИЗИРОВАННОЙ УСТАНОВКЕ КАТОД-1М

Представлены результаты по использованию разработанного программно-аппаратного комплекса для получения мультислойных структур ZnS/SiO2 с заданными толщинами слоев.

Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности

Похожие документы: