Статьи автора: Ильин Е.Ю.

Результатов найдено: 1

	Влияние режимов фотолитографического цикла на величину отрицательного угла маски из позитивного фоторезиста Ильин Е.Ю.,Жукова А.,Герасименко Н.Н. Известия высших учебных заведений. Электроника, 2015, 4, С. 108-110