ФОРМИРОВАНИЕ МУЛЬТИСЛОЙНЫХ СТРУКТУР ZnS/SiO2 ВЧ МАГНЕТРОННЫМ НАПЫЛЕНИЕМ НА МОДЕРНИЗИРОВАННОЙ УСТАНОВКЕ КАТОД-1МКОБЗИЕВ В.Ф.,Закирова Р.М.,Федотова И.В.,КРЫЛОВ П.Н.,АЛАЛЫКИН С.С.
Химическая физика и мезоскопия, 2015, 3, С. 34-37
|