РУАЭСТ (RUAEST)
Статьи автора: Капинос С.П.
Результатов найдено: 1
|
ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ НА СКОРОСТЬ ТРАВЛЕНИЯ И КАЧЕСТВО ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПРИ ОБРАБОТКЕ В ПЛАЗМЕ HCl-Ar, HCl-Cl2, HCl-H2Капинос С.П.,ДУНАЕВ А.В.,Мурин Д.Б.,Пивоваренок С.А.
|