ИЗУЧЕНИЕ ФАЗОВОГО СОСТАВА ТОНКИХ ПЛЕНОК SiCxFey И SiCxNy Fez С ПОМОЩЬЮ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКЦИИ В ГЕОМЕТРИИ СКОЛЬЗЯЩЕГО ПАДЕНИЯ ПУЧКА (GIXRD)Маурия К.К.,Файнер Н.И.,Пушкарёв Р.В.
Журнал структурной химии, 2015, 6, С. 156-158
|