ИЗУЧЕНИЕ ФАЗОВОГО СОСТАВА ТОНКИХ ПЛЕНОК SiCxFey И SiCxNy Fez С ПОМОЩЬЮ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКЦИИ В ГЕОМЕТРИИ СКОЛЬЗЯЩЕГО ПАДЕНИЯ ПУЧКА (GIXRD)

Пленки различного состава синтезированы с помощью метода химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении с использованием термического разложения следующих исходных газовых смесей: ферроцена Fe(C5H5)2 и гелия; ферроцена, трис(диэтиламино)силана [(C2H5)2N]3SiH (ТДЭАС) и гелия; ферроцена, 1,1,1,3,3,3-гекса-метилдисилазана [(CH3)3Si]2NH (ГМДС) и гелия. Химический состав полученных пле-нок характеризовался методами ИК и КРС спектроскопии. Фазовый состав пленок изу-чали с помощью рентгенофазового анализа в геометрии скользящего падения рентге-новского пучка (GIXRD). Установлено, что пленки, выращенные из газовых смесей кремнийорганических соединений (ТДЭАС или ГМДС), ферроцена и гелия, имеют оди-наковый химический и фазовый состав SiCxNyFez, в то время как полученные из смеси ферроцена и гелия другой — SiCxFey.

Авторы

Тэги

рентгеновская дифракция в геометрии скользящего падения пучка пленки состава SiCxFey и SiCxNyFez ферроцен.

Тематические рубрики

Прикладные науки. Медицина. Технология

Предметные рубрики

В этом же номере:

MICROMECHANISM OF Cu AND Fe ALLOYING PROCESS ON THE MARTENSITIC PHASE TRANSFORMATION OF NiTi-BASED ALLOYS: FIRST-PRINCIPLES CALCULATION, ОСОБЕННОСТИ СТРОЕНИЯ тг-КОМПЛЕКСОВ CuCl И Cu2SiF6 С2-АЛЛИЛАМИНО-5-ФЕНИЛ-1,3,4-ТИАДИАЗОЛОМ СОСТАВА [CuCl(C11H11N3S)] И [Cu(C11H11N3S)(H2O)(CH3CN)]2SiF6.2CH3CN, ...

Резюме по документу**

Пленки различного состава синтезированы с помощью метода химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении с использованием термического разложения следующих исходных газовых смесей: ферроцена Fe(C5H5)2 и гелия; ферроцена, трис(диэтиламино)силана [(C2H5)2N]3SiH (ТДЭАС) и гелия; ферроцена, 1,1,1,3,3,3-гекса-метилдисилазана [(CH3)3Si]2NH (ГМДС) и гелия. <...> Химический состав полученных пле-нок характеризовался методами ИК и КРС спектроскопии. <...> Фазовый состав пленок изу-чали с помощью рентгенофазового анализа в геометрии скользящего падения рентге-новского пучка (GIXRD). <...> Установлено, что пленки, выращенные из газовых смесей кремнийорганических соединений (ТДЭАС или ГМДС), ферроцена и гелия, имеют оди-наковый химический и фазовый состав SiCxNyFez, в то время как полученные из смеси ферроцена и гелия другой — SiCxFey.! <...>

** - вычисляется автоматически, возможны погрешности

Похожие документы:

Похожие документы из РУАЭСТ
|
Похожие документы из Руконт

ИЗУЧЕНИЕ ФАЗОВОГО СОСТАВА ТОНКИХ ПЛЕНОК SiCxFey И SiCxNy Fez С ПОМОЩЬЮ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКЦИИ В ГЕОМЕТРИИ СКОЛЬЗЯЩЕГО ПАДЕНИЯ ПУЧКА (GIXRD)

Помощь:

Участники: