ИЗУЧЕНИЕ ФАЗОВОГО СОСТАВА ТОНКИХ ПЛЕНОК SiCxFey И SiCxNy Fez С ПОМОЩЬЮ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКЦИИ В ГЕОМЕТРИИ СКОЛЬЗЯЩЕГО ПАДЕНИЯ ПУЧКА (GIXRD)

Пленки различного состава синтезированы с помощью метода химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении с использованием термического разложения следующих исходных газовых смесей: ферроцена Fe(C5H5)2 и гелия; ферроцена, трис(диэтиламино)силана [(C2H5)2N]3SiH (ТДЭАС) и гелия; ферроцена, 1,1,1,3,3,3-гекса-метилдисилазана [(CH3)3Si]2NH (ГМДС) и гелия. Химический состав полученных пле-нок характеризовался методами ИК и КРС спектроскопии. Фазовый состав пленок изу-чали с помощью рентгенофазового анализа в геометрии скользящего падения рентге-новского пучка (GIXRD). Установлено, что пленки, выращенные из газовых смесей кремнийорганических соединений (ТДЭАС или ГМДС), ферроцена и гелия, имеют оди-наковый химический и фазовый состав SiCxNyFez, в то время как полученные из смеси ферроцена и гелия другой — SiCxFey.

• Файнер Н.И.
• Маурия К.К.
• Пушкарёв Р.В.

• Прикладные науки. Медицина. Технология

• Физико-математические науки
• Естественные науки