ИЗУЧЕНИЕ ФАЗОВОГО СОСТАВА ТОНКИХ ПЛЕНОК SiCxFey И SiCxNy Fez С ПОМОЩЬЮ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКЦИИ В ГЕОМЕТРИИ СКОЛЬЗЯЩЕГО ПАДЕНИЯ ПУЧКА (GIXRD)Пушкарёв Р.В.,Файнер Н.И.,Маурия К.К.
Журнал структурной химии, 2015, 6, С. 156-158
|