РУАЭСТ (RUAEST)
|
Формирование наноразмерных элементов затворов СВЧ-транзисторов методом ионно-лучевой литографииРозанов Р.Ю.,Зайцев А.А.,Неволин В.К.,Лаврентье К.К.,Царик К.А.
|